1、引言
非球面镜片设计旨在提高光学性能,尤其是在高功率激光应用中。其表面精度对于成像质量和光束控制至关重要。然而,非球面镜片的复杂形状使得传统测量方法难以应用,因此需要开发新的测量技术。
2、非球面镜片测量方法
干涉测量法
轮廓测量法
接触式轮廓测量法:通过物理测针在镜片表面移动记录位置信息。该方法适用于不能充分反射光线的地面光学器件,但存在物理接触可能导致损坏的风险,且无法提供完整的三维数据,马尔生产的MarForm MFU 200 Aspheric 3D和MarSurf LD 260 Aspheric 3D 产品可以通过接触式的测量方法来完成非球面的测量任务。
非接触式轮廓测量法:
• 色差共焦传感法:色度共焦传感利用白光点光源和波长感应进行非接触式测量,适用于较大非球面偏离的镜片。
• 多波长干涉测量法:多波长干涉测量法则通过多个离散波长提高表面重建的准确性,具有快速、精确的优点。
马尔公司的 MarSurf CL select 产品,契合了这种测量方法的优点,可以快速准确地测量各类非球面镜片,尤其适用于微透镜的测量,在3C行业有着广泛的用途。